TD-910擴散硅壓力變送器 |
工作原理
TD-910系列擴散硅壓力傳感器系采用芯片，經過精心的結構設計，信號處理和組裝，并按照標準和企業標準，進行測試而生產出來的新一代壓力傳感器。基本原理是利用半導體的壓阻效應和微機械加工技術，在單晶硅片的特定晶向上，用光刻、擴散等半導體工藝制做一惠斯登電橋，形成敏感膜片，當受到外力作用時產生微應變，電阻率發生變化，使橋臂電阻發生變化（一對變大一對變小）再激勵電壓信號輸出，經過計算機溫度補償、激光調阻、信號放大等處理手段和嚴格的裝配檢測、標定等工藝，生產出具有標準輸出信號的壓力變送器。
特點
輸出穩定靈敏度高
一般應變式傳感器輸出為10mV左右，而擴散硅傳感器滿量程輸出為100mV左右，干擾及噪聲等因素影響相對較小，放大電路成本也相應降低，分辨率大大。壓力附近無區。
高，重復性好
擴散硅壓阻式壓力傳感器實現了壓力受感，壓力傳遞，力-電轉換在同一元件上實現，無中間轉換環節，滯后，無機械位移變形，了小的重復性和遲滯誤差，和良好的線性度，無蠕變、穩定、、壽命長。
良好的溫度特性
由于采用了激光調阻，計算機補償等技術和巧妙控制擴散濃度，實現滿量程溫度漂移（靈敏度溫度系數）自補償。克服了半導體晶片本身溫度系數大的缺陷，使變送器的位和滿度溫漂控制到了較小的范圍，拓寬了使用溫區。
適合于危險易爆的領域和場所應用
擴散硅壓力傳感器，變送器具有低電流，低電壓，低功耗的特點，屬于本質爆型產品，并已取得了爆機構頒發的爆證書。
高性與干擾性能
產品由于采用了不銹鋼材質與護結構，和放大電路的雷擊、干擾、過壓、過流等一系列保護手段，了的密封腐和惡劣工作環境的能力，適合一般工業現場測量和控制的需要。
技術參數
技術指標
使用對象 | 液體、氣體或蒸汽 |
測量范圍 | 表壓：0～1KPa～60MPa 壓： 0～100KPa～35MPa ， 負壓：-0.1MPa～2MPa |
輸 出 | 4～20mADC |
電 源 | 12～36VDC |
負載特性 | 4～20mADC二線制 |
溫度范圍 | -40℃～+85℃ |
外殼護 | IP65 |
爆類型 | 隔爆型ExdⅡ6; 本安型ExibⅡ6應外配柵 |
性能指標
綜合 | 等級：0.1%、0.2% |
穩定性 | ±0.25%FS/3年 |
溫度影響 | -10℃～+60℃范圍內:變化量小于±0.1%/10℃(0.1級) 變化量小于±0.15%/10℃(0.2級) -30℃～-10℃, 60℃～+85℃:變化量小于±0.15%/10℃(0.1級) 變化量小于±0.20%/10℃(0.2級) |
振動影響 | 在任何方向上振動頻率為20-200Hz時，變化量小于±0.02% BFSL |
沖擊影響 | 任何方向100G沖擊11ms后，變化量小于±0.02% BFSL |
負載影響 | 只要輸入變送器的端子電壓高于12V，就無負載影響。 |
位置影響 | 安裝位置不影響點 |
結構指標
結構材料 | 外殼：不銹鋼或低銅鑄鋁 接觸介質材料與選擇的傳感器類型及采用的密封方式有關 全焊接結構：316L SS “O”型圈密封結構：聚四氟乙烯或氟橡膠 |
過程連接 | 標準提供M20×1.5外螺紋 |
電氣連接 | 可根據需要從任何一個出口引出，建議使用φ10工業電纜作為引線，以便密封.引出接頭可選用通用電纜接頭PG16或M20×1.5，不引線一端用端蓋封住。 |
