法國PhasicsSID4系列波前傳感器

—— ——四波橫向剪切干涉波前傳感器

產(chǎn)品介紹：法國Phasics SID4系列波前分析儀（屹持代理zhuanli號CN200780005898），基于其波前測量zhuanli——四波橫向剪切干涉技術(shù)（4-Wave Lateral Shearing Interferometry）。作為夏克-哈特曼技術(shù)的改進(jìn)型，這種獨(dú)特的zhuanli技術(shù)將高分辨率和大動態(tài)范圍很好地結(jié)合在一起。能實(shí)現(xiàn)全面、簡便、快速的測量。

主要應(yīng)用領(lǐng)域：

1. 激光光束參數(shù)測量：相位（2D/3D），M2，束腰位置，直徑，澤尼克/勒讓德系數(shù)

2. 自適應(yīng)光學(xué)：焦斑優(yōu)化，光束整形

3. 元器件表面質(zhì)量分析：表面質(zhì)量（RMS，PtV，WFE），曲率半徑

4. 光學(xué)系統(tǒng)質(zhì)量分析：MTF, PSF, EFL, 澤尼克系數(shù), 光學(xué)鏡頭/系統(tǒng)質(zhì)量控制

5. 熱成像分析，等離子體特征分析

6. 生物應(yīng)用：蛋白質(zhì)等組織定量相位成像

產(chǎn)品特點(diǎn)：

1. 高分辨率：采樣點(diǎn)可達(dá)120000個

2. 可直接測量：消色差設(shè)計(jì)，測量前無需再次對波長校準(zhǔn)

3. 消色差：干涉和衍射對波長相消

4. 高動態(tài)范圍：高達(dá)500μm

5. 防震設(shè)計(jì)，內(nèi)部光柵橫向剪切干涉，對實(shí)驗(yàn)條件要求簡單，無需隔震平臺也可測試

型號參數(shù)：

四波橫向剪切干涉技術(shù)背景介紹
Phasics四波橫向剪切干涉（屹持代理）：當(dāng)待測波前經(jīng)過波前分析儀時，光波通過特制光柵（圖1）后得到一個與其自身有一定橫向位移的復(fù)制光束，此復(fù)制光波與待測光波發(fā)生干涉，形成橫向剪切干涉，兩者重合部位出現(xiàn)干涉條紋（圖2）。被測波前可能為平面波或者匯聚波，對于平面橫向剪切干涉，為被測波前在其自身平面內(nèi)發(fā)生微小位移發(fā)生微小位移產(chǎn)生一個復(fù)制光波；而對于匯聚橫向剪切干涉，復(fù)制光波由匯聚波繞其曲率中心轉(zhuǎn)動產(chǎn)生。干涉條紋中包含有原始波前的差分信息，通過特定的分析和定量計(jì)算梳理（反傅里葉變換）可以再現(xiàn)原始波前（圖3）。

圖1.特制光柵 

圖2.幾何光學(xué)描述波

圖3. 波前相位重構(gòu)示意圖

技術(shù)優(yōu)勢
1.高采樣點(diǎn)：
高達(dá)400*300個采樣點(diǎn)，具備強(qiáng)大的局部畸變測試能力，降低測量不準(zhǔn)確性和噪聲；同時得到高精度強(qiáng)度分布圖。
2.消色差：
干涉和衍射相結(jié)合抵消了波長因子，干涉條紋間距與光柵間距相等。適應(yīng)于不多波長光學(xué)測量且不需要重復(fù)校準(zhǔn)。
3.可直接測量高動態(tài)范圍波前：
可見光波段可達(dá)500μm的高動態(tài)范圍；可測試離焦量，大相差，非球面和復(fù)曲面等測。

圖4.測試對比圖

圖5. 消色差 

圖6.高動態(tài)范圍測量                                                                          

應(yīng)用方向：
1. 光光束測量
可以實(shí)時測量強(qiáng)度相位（2D/3D）信息，Zernike/Legendre系數(shù)，遠(yuǎn)場，光束參數(shù)，光束形狀M2等。

2. 光學(xué)測量

Phasics波前傳感器可對光學(xué)系統(tǒng)和元器件進(jìn)行透射和反射式測量，專業(yè)Kaleo軟件可分析PSF,MTF等

光學(xué)測量 

透射式和反射式測量

3.光學(xué)整形：

利用Phasics波前傳感器檢測到的波前畸變信息，反饋給波前校正系統(tǒng)以補(bǔ)償待測波前的畸變，從而得到目標(biāo)波前相位分布和光束形狀。右圖上為把一束RMS=1.48λ的會聚光矯正為RMS=0.02λ的準(zhǔn)平面波；右圖下為把分散焦點(diǎn)光斑矯正為準(zhǔn)高斯光束。高頻率大氣湍流自適應(yīng)需要配合高頻波前分析儀。

4.光學(xué)表面測量：

Phasics的SID4軟件可以直接測量PtV, RMS, WFE和曲率半徑等，可直接進(jìn)行自我校準(zhǔn)，兩次測量相位作差等。非常方便應(yīng)用于平面球面等形貌測量。部分測量光路如右圖所示

5.等離子體測量

法國Phasics公司SID4系列等離子體分析儀(Plasma Diagnosis)是一款便攜式、高靈敏度、高精度的等離子體分析儀器。該產(chǎn)品可實(shí)時檢測激光產(chǎn)生的等離子體的電子密度、模式及傳播方式。監(jiān)測等離子體的產(chǎn)生、擴(kuò)散過程，以及等離子體的品質(zhì)因數(shù)。更好地為客戶在噴嘴設(shè)計(jì)、激光脈沖的照度、氣壓、均勻性等方面提供優(yōu)化的數(shù)據(jù)支持。

附：夏克哈特曼和四波橫向剪切干涉波前分析儀對比表