- 企業(yè)類型:制造商
- 新舊程度:全新
- 原產地:江蘇昆山
- 鍍層可測范圍:3 鋰 Li~92 鈾 U
- 元素檢測范圍:13鋁AI~92 鈾 U
- 檢出限:金屬鍍層分析最薄可達0.005um
- 最小測試面積:0.02mm2
- 樣品移動平臺:全自動高精度多點測試XY移動平臺
X熒光光譜儀 無損鍍層測厚儀
X熒光光譜儀 無損鍍層測厚儀 EDX2000A(全自動微區(qū)膜厚測試儀)對平面、凹凸、拐角、弧面等各種簡單及復雜形態(tài)的樣品進行快速對焦準確分析,對半導體、芯片及PCB等行業(yè)的非接觸微區(qū)鍍層厚度測試比較友好。通過自動化的X軸Y軸Z軸的三維移動,雙激光定位和 bao 護系統。

采用大窗口探測器,能 jing 準地解析每個元素的特征信號,針對復雜底材以及多層復雜鍍層,同樣可以輕松測試。
搭配 da 功率X光管,能較好的保障信號輸出和激發(fā)的 wen ding 性,減少儀器故障率。
高 jing 度 zi 動化的X、Y、Z軸的三維聯動,geng jing 準快速地完成對微小異型(如弧形、拱形、螺紋、球面等)測試點的 ding 位。

X熒光光譜儀 無損鍍層測厚儀技術參數
尺寸規(guī)格
設計形式:臺式儀器,測量蓋向上開啟
測量方向: 從上至下
儀器重量: 60kg
外型尺寸:(mm) 485(W)×588(D)×505(H)
樣品室尺寸:(mm) 430(W)×400(D)×140(H)
X射線源
X射線管: 微焦斑W靶射線管
X射線管高壓、電流: jin 口大功率高壓單元
準直器(孔徑) :可選配0.1*0.3mm,φ0.2mm,φ0.3mm,φ0.5mm,φ0.1mm 還可按要求 定制其它孔徑
X射線檢測
探測器: 大窗口探測器
分析方法: FP與EC法兼容能量色散X熒光分析方法
元素檢測 fan圍: 13Al(鋁)~92U(鈾),可同時分析24個元素,五層以上鍍層
檢出限 :金屬鍍層分析薄度可0.0025μm
厚度fan圍 :分析鍍層厚度一般在0~120μm以內(每種材料有所不同)
厚度標準偏差: RSD<3%
含量測試 fan 圍: 0.1%~99.9%
檢測時間: 5-40秒
樣品觀測配置
樣品照明 :LED燈,上方垂直環(huán)繞照射(可調節(jié)亮度)
樣品觀察對焦: 高分辨率彩色CCD變焦工業(yè)攝像頭,沿初級X射線光束方向觀察測量位置,帶有經過校正的刻度和測量點指示的十字線,手動/自動對焦
倍率: 外激光點用于輔助 jing 準放置樣品,高度激光調節(jié)配合變焦攝像頭對焦,圖像可放大倍數20x-160x,實現微小樣品清晰 ding 位
電動X/Y/Z高 jing 度移動平臺
設計: 可編程電動X/Y/Z平臺
樣品移動平臺: 全自動高jing度多點測試XY移動平臺
Z軸升降平臺升降fan圍 :0~140mm
安 quan 防護
操作環(huán)境溫濕度: 15℃~30℃,濕度≤70%
工作電源: 交流220V±5V,建議配置交流凈化wen壓電源
安 quan 性: 雙重安 quan 防護設施:防撞激光檢測器與樣品室門開閉傳感器;待機無輻射,工作時輻射水平遠 di于 guo 際安 quan標準,配軟件連動裝置
X熒光光譜儀 無損鍍層測厚儀應用方向
通過自動化的X軸Y軸Z軸的三維移動,雙激光 ding 位和 bao hu 系統,man zu 半導體、芯片及PCB等行業(yè)的非接觸微區(qū)鍍層厚度測試xu求。

X熒光光譜儀 無損鍍層測厚儀EDX2000A售后服務
?儀器的品質bao zhneg
天瑞儀器公司 bao zheng 所供貨品為天瑞儀器公司生產的新品,品質優(yōu)良,符合我方相關樣本說明書的技術指標參數。
1、一對一的用戶培訓
2、定期召開的行業(yè)大會
?儀器的安裝調試
天瑞儀器公司將在到貨后雙方約定的時間內盡快響應, bao zheng 質量的完成儀器的免費安裝、調試和培訓指導。
?儀器的保修期
儀器的免費保修期為安裝調試驗收合格后,雙方簽訂驗收調試報告開始計一年。保修期內,對于非人為造成的儀器故障實行免費維修。
?儀器的維修響應
收到貴方的維修申請后,天瑞儀器公司將以 zui 快的響應速度(一般不超過三個工作日)到達貴公司對儀器進行維修。
?技術培訓與支持
安裝時現場提供分析儀器的硬件、軟件操作培訓,使操作人員能夠掌握相關儀器的使用和日常維護。







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