- 品牌/商標：-
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 技術參數 | ||||
| ■ 硅片規格： 方片125x125mm、156x156mm 圓片3″、4″、5″、6″、8″ ■ 測試功能 厚度：單點及多點厚度 TTV：總厚度偏差 體電阻率：單點及多點體電阻率 ■ 測試指標 厚度范圍：150～1000μm 測量誤差：≤±1.0μm 重復性：≤±0.20μm TTV范圍：0.00μm～200.00μm 測量誤差：≤±0.50μm 重復性：≤±0.20μm 體電阻率范圍：0.1Ω.cm~30.0Ω.cm 測量誤差：≤±3% 重復性：≤1.5% ■ 設備尺寸/重量：470mm(L)x420mm(W)x600mm(H)/20Kg ■ 測試環境要求：溫度范圍15～27℃ ■ 濕度范圍：35%～85% ■ 電源要求：220VAC,50Hz ■ 控制器：高性能主機 | ||||
