_VMU222

_VMU322

_VMU432

_VMU542

_行程(mm)

_{200×200×200}

_{300×200×200}

_{400×300×200}

_{500×400×200}

_{外部尺寸(mm)}

_{1040×740×1620}

_{1040×740×1620}

_{1240×800×1620}

_{1440×1000×1620}

_重量(kg)

₂₄₀

₂₅₀

₃₁₀

₄₀₀

_承重(kg)

₂₅

₂₅

₂₅

₂₅

_測量

_XY軸*

_{E2=(2.0+L/300)μm}

_{E2=(2.5+L/300)μm}

_Z軸**

_{E1=(5.0+L/200)μm}

_速度

_XY軸

_200mm/S

_Z軸

_100mm/S

_光柵尺

_{Renishaw光柵尺}

_CCD

 _{1/2"CCD 黑白/彩色}

_光源

_輪廓光

_{LED冷光源，256級亮度可調}

_表面光

_{6環8區LED冷光源，各段獨立操控，256級亮度可調}

_同軸光

_{LED冷光源，256級亮度可調}

_{光學系統***}

 _{6.5:1可變倍，放大倍率29～163或58～326}

_軟件

_{Vispec測量軟件}

_運動控制

_{自主的CNC直流伺服系統}

_保修期

_1年

_工作環境

_{溫度20℃±2℃，溫度變化<2℃/hr，濕度30～80%}

_{振動<0.002g，低于15Hz}

_電源

_{220V/50Hz/10A}