| 測量范圍及 | Z軸測量范圍（縱方向） | &plun;400μm |
| X軸測量范圍（橫方向） | 50mm |
| 傳感器上下移動范圍 | 50mm |
| 測定分辨率 | 0.00016μm/&plun;4μm～0.016μm/&plun;400μm |
| 測量速度（X軸） | 0.15～1.5mm/s（可選） |
| 直線度(X軸) | 0.3μm/50mm |
| 傳感器 | 測針半徑 | 2μm |
| 測針材質(zhì) | 金剛石 |
| 測量力 | 0.75mN以下 |
| 測量及分析項目 | 對應規(guī)格 | JIS-2001、JIS-1994、JIS-1982、ISO-1997、 |
| ISO-1984、DIN-1990、AE-1995、CMO規(guī)格 |
| 參數(shù)或計劃類型 | Pt、Ra、Rq、Rz、Rzmax、Rp、Rt、R3z、R、Pc、Rk、 |
| Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、VO、K、Rmr、R、Rx、AR、W、Wx、 |
| AW、Wte等對應規(guī)格相關(guān)參數(shù)，(以上為JIS-2001參數(shù)) |
| 評價曲線 | 斷面曲線、粗糙度曲線、ISO13565曲線、 |
| 粗糙度Motif曲線、波紋度Motif曲線、包絡(luò)波紋度曲線 |
| 濾波波紋度曲線、波紋度曲線 |
| 特征曲線 | 負荷曲線分析、振幅分布曲線 |
| 濾波類型 | 高斯、2RC、2RC（無相位補償） |
| 截止波長 | λc:0.08、0.25、0.8、2.5、5、8mm； |
| λs:0.25、0.8、2.5、8、25μm |
| 評價長度 | 0.1～50mm（任意0.1mm單位） |
| 顯示及操作 | 顯示屏 | 3.5英才彩色顯示，中文界面對應 |
| 操作界面 | 人性化設(shè)計，操作簡單方便，且功能豐富。 |
| 尺寸及質(zhì)量 | 電源 | 內(nèi)置充電電池（AC變壓器充電），充電時間3小時 |
| 耗電量 | 約300VA（充滿電后可以測量600次） |
| 外形尺寸 | Flex控制部：132(W)×58(D)×214(H)mm，攜帶方便 |
| 配件及其他 | 測針種類 | 測針與傳感器分離式，與臺式機測針通用，可選測針豐富。 |
| 數(shù)據(jù)導入導出或打印 | 數(shù)據(jù)可通過數(shù)據(jù)線或U接口導出；內(nèi)置打印機 |
| 傾斜機構(gòu)裝置 | 控制部可平放及15°和36°傾斜放置；人性化設(shè)計，方便操作，減少操作帶來的疲勞。 |
