儀器用途： | ||||||||||
儀器特點：
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| 儀器規格參數: |
| 儀器型號 | CMS-554C | CMS-665C | CMS-886C | CMS-10108C | |
| CMS_574C | CMS-685C | CMS-8106C | CMS-10128C | ||
| CMS-584C | CMS-6105C | CMS-8126C | CMS-10158C | ||
| 行程 | X | 500 | 600 | 800 | 1000 |
| Y | 500/700/800 | 600/800/1000 | 800/1000/1200 | 1000/1200/1500 | |
| Z | 400 | 500 | 600 | 800 | |
| 結構形式 | 移動橋式 | 移動橋式 | 移動橋式 | 移動橋式 | |
| 空間 | MPEe=(3.0+L/256)um | MPEe=(3.0+L/200)um | |||
| 分辨率 | 0.5um | 0.5um | 0.5um | 0.5um | |
| 外型尺寸 | 1.21*1.3/1.5/1.6*2.33 | 1.31*1.4/1.6/1.8*2.53 | 1.66*1.9/2.1/2.3*2.85 | 1.85*2.1/2.3/2.6*3.25 | |
| 整機重量： | 980/1120/1200 | 1100/1250/1400 | 2200/2460/2720 | 2600/2880/3300 | |
| 承重 | 400 | 500 | 600 | 800 | |
| 包裝外型尺寸 | 1.3*1.6/1.8/1.9*2.22 | 1.4*1.7/1.9/2.1*2.42 | 1.9*2.3/2.5/2.7*2.4 | 2.4*2.45/2.65/2.95*2.4 | |
工作環境 | |||||
| 電源 | 220V+(-)10% 50/60Hz | ||||
空氣流量 | 120L(min(0.4MPa) | ||||
氣源壓力 | >=0.5MPa | ||||
溫度范圍 | 20+（-）2攝氏度 | ||||
濕度 | 40%-70% |
