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- ACEGEM
www.ace-gem.com卓耐科技 超聲波共振2.2裂紋檢測儀是一種離線的工具。這種模式完全適合生產過程中的每一個階段的質量控制操作，包括傳入（和傳出）晶圓或電池質量的核查。單元由一個計量單元（包括超聲換能器和超聲波探頭）、一個計算機控制的電子單元、有系統運行軟件的電腦、數據采集和數據處理組成。附加的系統包含自動輸入，輸出和晶圓/電池的拒絕。該系統安裝在移動的推車上，使操作者可以將移動檢測器到任何需要的地方，使它即插即用.
規格
•晶圓/單元尺寸：6”（其他維度也必須說明）。
•全頻率范圍：20至90千赫
•小的聲波信號：1毫伏
•靈敏度按鈕：100％和0％之間（指標準差系數）
•傳感器直徑：50mm（2”）
•環境條件：17 - 35C（穩定T，意義著的1C T△在15分鐘內）
•周期時間：平均3秒
•生產量：約1200，不包括堆棧改變
•載入：從堆棧中的自動加載
•卸載：從堆棧中自動卸載
•拒絕：自動進入到接待箱
•堆棧：為300晶圓
•軟件：基于的MS Windows
•接口：普通純平個人電腦
•電源：230V
•空氣和真空（外部）：6Bar的穩定氣流
•安全：安全
•手推車尺寸[毫米]：1.350H x800W x1.750L
系統組件
•位于垂直移動的Z -階段的超聲換能器
•位于水平移動的X-階段的超聲換能器
•數字信號處理器鎖定放大器
•傳送帶及控制器
•進進出出的晶圓持有者（堆棧）
•選擇和地點輸入
•選擇和地點輸出
•分離抓手
