- 產品品牌：
- 美國ALICAT
產品特點：
- 滿量程從0.5(S)CCM到2000(S)LPM
- 響應時間100ms
- 量程比優于100：1
- ±0.8%讀數±0.2%滿量程（可選高：±0.4%讀數±0.2%滿量程）
- 可通過本地顯示、RS-232或模擬信號三種控制方式來控制流量
- 安裝位置不敏感
- 現場可選30種校驗氣體
| 指標 | 質量流量控制器 | 體積流量控制器 | 描述 |
| 標準量程 | 0.5，1，2，5，10，20，50，100，200，500 (S)CCM； 1，2，5，10，20，50，100，250，500，1000，2000(S)LPM | 滿量程 | |
| ±0.8%讀數±0.2%滿量程（可選高：±0.4%讀數±0.2%滿量程） | 滿量程 | ||
| 重復性 | ±0.5% | 滿量程 | |
| 量程比 | 100:1 | 測量和控制 | |
| 響應時間 | 100 | 毫秒（可調） | |
| 標準狀態(STP) | 25℃&14.696PSIA （101.325kPa） | 無 | 僅測量質量流量用 |
| 溫度范圍 | -10～50 | ℃ | |
| 零點漂移 | 0.02％ | 滿量程/℃/Atm | |
| 量程漂移 | 0.02％ | 滿量程/℃/Atm | |
| 濕度范圍 | 0-100% | 無冷凝 | |
| 測量流量范圍 | 102.4％ | 滿量程 | |
| 耐壓 | 150 | 150* | PSIG |
| 輸入/輸出（數字） | 質量流量、體積流量、絕壓和溫度 | 體積流量 | RS-232串口 |
| 輸入/輸出（模擬） | 質量流量 | 體積流量 | 0-5VDC |
| 可選輸入/輸出 第二路模擬 | 質量流量、體積流量、絕壓或溫度 | 體積流量 | 0-5VDC,0-10VDC或4-20mA |
| 電氣連接 | 8針 | 小型圓插頭 | |
| 供電電壓 | 12-18VDC（4-20mA輸出時為：15-30VDC）** | ||
| 供電電流 | 0.250A | ||
| 安裝位置敏感度 | 0% | ||
| 預熱時間 | ＜1 | 秒 | |
| 接液材質 | 303&302不銹鋼，Viton®，RTV硅樹脂，玻璃纖維增強尼龍，鋁，銅，410不銹鋼 | ||
| *對于體積流量控制器，若入口壓力＞10PSIG時，須同廠家聯系。 **使用24V時需指定24V線圈. | |||
