產品品牌：

美國MKS

產品型號：

πMFC

測量范圍：

2-20 m3/h

等級：

1%

適用介質：

多氣體，多范圍

工作壓力：

多量程 MPa

工作溫度：

常溫 ℃

1，新一代πMFC壓力不敏感質量流量控制器在功能和性能上都進行了改進，使得半導體和高純薄膜用戶能進一步增加他們設備的產額。

2，通過一個先進的數字算法，似的控制器對上游和下游的壓力擾動不敏感，實現了的實時流量控制。

3，與通常基于PID的數字MFC相比，他由于能實現工藝氣體流量的實時控制而極大地提高了控制，具有更好的工藝腔室匹配性。

4，集成的壓力傳感器和其LED顯示可減少所需一個氣體stick的組成數目，基于網絡的瀏覽器界面使客戶可以實時地進行控制器的設置和故障排除，從而減少了對“無故障”MFC的替換并且無需中斷工藝氣體輸送。