- 產(chǎn)品品牌：
- 德國
- 產(chǎn)品型號：
- ZLM800
產(chǎn)品功能
ZLM800微位移測量激光干涉儀——雙頻激光干涉儀，主要用于各種平臺和部件的微位測量、各種擺鏡角度變化量的監(jiān)測、運(yùn)動平臺位移量和角度變化的檢測、光刻機(jī)幾何量的測量、數(shù)控機(jī)床幾何量的測量等，多可實(shí)現(xiàn)六軸聯(lián)動。也可通過位移+偏擺+俯仰的三角關(guān)系測量檢測物體的振動變化。
性能優(yōu)勢
技術(shù)參數(shù)
型號：ZLM800
使用高性能PCI或單片機(jī)式數(shù)據(jù)處理器
He-Ne激光平均波長：
632.8 nm
激光穩(wěn)頻：
一小時2x10-9（±0.002ppm）
壽命內(nèi)2x10-8（±0.02ppm）
系統(tǒng)（0-40℃時）：
±0.4ppm
光束直徑：
6mm (可選3.2mm)
激光管突發(fā)輸出功率：
5mW (激光等級2)
每束光可測量的軸數(shù)：
多6個
線性測量距離：
2m
角度測量范圍：
± 3.5'
速度：
2m/s
加速：
無限制
采樣頻率：
內(nèi)部1MHz，外部40MHz
預(yù)熱時間：
10分鐘
位移測量分辨率：
1.25nm
位移測量：
±0.4ppm (μ/m)
角度測量分辨率：
0.003μrad
角度測量：
±0.1ppm實(shí)測值
數(shù)據(jù)接口：
積分信號
32 Bit (實(shí)時時間)
Dt » 20 ns
數(shù)據(jù)分析標(biāo)準(zhǔn)：
ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作環(huán)境：
溫度：15°C-30°C
濕度：<90%無冷凝
儲存環(huán)境：
溫度：10°C-40°C
濕度：<95%無冷凝
應(yīng)用
下述是為國內(nèi)某研究所某項(xiàng)目設(shè)計(jì)的ZLM800測量系統(tǒng)。用戶預(yù)先把被測物體放置在密閉箱中，密閉箱留有觀察窗口。所需要測量的數(shù)據(jù)是被監(jiān)視目標(biāo)Ⅰ、被監(jiān)視目標(biāo)Ⅱ的X、Y向的角度變化量，以及這兩個目標(biāo)在Z方向的相對變化量。
ZLM800部分光路圖示例
從X、Y和Z方向同時測量被測物體的位移，其中X和Y在一個水平層面上
在水平方向同時測量出被測物體的位移、偏擺和俯仰角度變化（上圖）
在垂直方向同時測量出被測物體的位移、偏擺和俯仰角度變化（上圖）
同時從X和Y方向測量被測物體的位移變化（上圖）
同時從X和Y方向測量運(yùn)動平臺兩個層面的位移變化（上圖）
同時從X和Y方向測量位移、偏擺和俯仰的角度的變化（1）
同時從X和Y方向測量位移、偏擺和俯仰的變化（2）
同時從X和Y方向測量位移、偏擺和俯仰的變化（3）
資料
復(fù)雜光路測量的應(yīng)用.pdf
系統(tǒng)應(yīng)用簡介.pdf
