- 產品品牌：
- 銘動
- 產品型號：
- MD-PS001
- 壓力測量范圍：
- 0.7 mPa
- 類型：
- 擴散硅壓力變送器
MD-PS001 壓力傳感器采用硅微機械加工技術制造。采用各向異性腐蝕技術和硅硅直接鍵合技術在硅片內部形成一個長期穩定的真空基準壓力參考腔，在表面硅膜上用集成技術制作成惠斯頓應變全橋，采用國際先進的MEMS技術生產的1×1mm的硅壓阻傳感器芯片，從而在受力時輸出與壓力成線性關系的電壓信號。
應用領域：
汽 車：TPMS，胎壓，診斷儀，氣泵，蒸汽和懸置機構控制，絕壓傳感器。
工 業：空氣壓力控制，電纜泄漏檢測，便攜式壓力計，壓力開關和控制器。
消費品：手持胎壓計，高度計和氣壓測定儀。
醫 療：病人監控和診斷設備，血壓計。
科 研：空氣動力學用微型絕壓傳感器及通用絕壓傳感器
特 征：
固態元件，三維集成MEMS工藝制造，可靠性高。
無應力設計與制造，嚴格自補償濃度控制，穩定性好。
標準壓力范圍： 0～100kpa, 0～200kpa, 0～700kpa，0～1700kpa，0～ 3400kpa。
微型尺寸1mm×1mm×0.5mm壓阻傳感技術，硅／硅鍵合芯片，穩定性好。
使用方便，適合于任何陶瓷、PCD板、TO－8、塑膠微電子封裝。
所有晶片都是以保護性的塑料容器運輸。晶片被粘在塑料盤上，所有晶片被電子探頭和視覺檢查。
技術參數：
| 小值 | 典型值 | 值 | 單位 | 備注 | ||||
| 壓力特性 | ||||||||
| 壓力量程 | 100KPa 200KPa 350KPa 700KPa 1700KPa 3500KPa 15PSI 30PSI 50PSI 100PSI 250PSI 500PSI |
|||||||
| 壓力 | 2倍 | |||||||
| 破壞壓力 | 4倍 | |||||||
| 電氣性能 | ||||||||
| 激勵電壓 | 3 | 5.0 | 12 | V | ||||
| 激勵電流 | 1 | 3 | mA | |||||
| 輸入阻抗 | 4 | 5 | 6 | KΩ | ||||
| 輸出阻抗 | 4 | 5 | 6 | KΩ | ||||
| 輸出范圍 （FS范圍） |
150KPa | 60 | 80 | 100 | mV | |||
| 700KPa | 70 | 100 | 150 | mV | ||||
| 1700KPa | 80 | 120 | 180 | mV | ||||
| 零位輸出 | -25 | 25 | mV | |||||
| 性能指標 | ||||||||
| 滿度溫度系數 | -0.24 | -0.19 | -0.15 | %FS/℃ | 恒壓供電 | |||
| 零位溫度系數 | -0.07 | 0.07 | %FS/℃ | |||||
| 電阻溫度系數 | 0.24 | 0.27 | 0.33 | % /℃ | ||||
| 線性度 | -0.25 | 0.15 | +0.25 | %FS | ||||
| 遲滯和重復性 | ±0.10 | %FSO | ||||||
| 長期穩定性 | ±0.20 | %FSO | ||||||
| 工作溫度 | -40 | +125 | ℃ | |||||
| 存儲溫度 | -55 | +150 | ℃ | |||||
| 兼容介質 | 潔凈、干燥、無腐蝕性氣體 | |||||||
| 1、所有測試值相對22℃ 1mA恒流供電 2、在0-70℃，溫度系數為典型值。 |
||||||||
