橋架固定，工作臺(tái)移動(dòng)的固定橋式結(jié)構(gòu)，為整機(jī)提供了更穩(wěn)定的基礎(chǔ)，并運(yùn)行時(shí)，振動(dòng)對(duì)的影響小
陶瓷Z軸、全花崗巖結(jié)構(gòu)，為計(jì)量室環(huán)境下的測(cè)量提供了穩(wěn)定的高
中心驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)減少偏擺和扭轉(zhuǎn)，Y向光柵安裝于工作臺(tái)的，阿貝誤差小
Y向采用燕尾導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)，了機(jī)器的和重復(fù)性柔性同步帶系統(tǒng)，兼顧柔性嚙合與剛性軸向傳動(dòng)的優(yōu)點(diǎn)，高加速度時(shí)定位，從而運(yùn)動(dòng)的平穩(wěn)性
Z向采用可調(diào)式氣動(dòng)平衡設(shè)計(jì)，了機(jī)器的動(dòng)態(tài)性能，Z軸性
標(biāo)配溫度傳感器，自動(dòng)補(bǔ)償由于溫度變化而引起的誤差
采用HEIDENHAIN高分辨率金質(zhì)光柵，其熱膨脹系數(shù)獲得PTB。
陶瓷Z軸、全花崗巖結(jié)構(gòu)，為計(jì)量室環(huán)境下的測(cè)量提供了穩(wěn)定的高
中心驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)減少偏擺和扭轉(zhuǎn)，Y向光柵安裝于工作臺(tái)的，阿貝誤差小
Y向采用燕尾導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)，了機(jī)器的和重復(fù)性柔性同步帶系統(tǒng)，兼顧柔性嚙合與剛性軸向傳動(dòng)的優(yōu)點(diǎn)，高加速度時(shí)定位，從而運(yùn)動(dòng)的平穩(wěn)性
Z向采用可調(diào)式氣動(dòng)平衡設(shè)計(jì)，了機(jī)器的動(dòng)態(tài)性能，Z軸性
標(biāo)配溫度傳感器，自動(dòng)補(bǔ)償由于溫度變化而引起的誤差
采用HEIDENHAIN高分辨率金質(zhì)光柵，其熱膨脹系數(shù)獲得PTB。
