TESCAN  掃描透射電子顯微鏡

TESCAN TENSOR 4D 掃描透射電子顯微鏡

高度集成、旋進輔助的分析型 4D- STEM

TESCAN TENSOR 是一款中等加速電壓、近超高真空的集成 4D-STEM， 用于對功能材料、薄膜、天然和合成顆粒的納米級形態、化學和結構特性進行多模態表征，具有出色的 4D-STEM 性能和良好的普遍適用性。

分析型 4D-STEM

更全面的獲取電子束與樣品相互作用的全部信息

4D-STEM 是對材料特性（如形態、化學成分和結構）進行真正的納米級多模態表征的理想顯微鏡方法。在 STEM 數據集中的每個像素上，TESCAN TENSOR 都能快速、準確地同步獲取衍射花樣和 EDS 能譜圖。衍射和能譜數據共同揭示了電子束與樣品相互作用的全部信息，從而得出各種材料屬性。

近實時分析和處理 4D-STEM 數據

TESCAN TENSOR 具有真正獨特的功能是“Explore”，它是 TENSOR 的集成平臺，用于實時處理和分析大規模掃描電子衍射數據集。

Explore 可以協助材料科學家、半導體科研人員和失效分析工程師以及晶體學家實現 4D-STEM 測量功能，無需 STEM 光學或 4D-STEM 數據分析和后處理方面的專業知識。用戶可以根據自己的喜好調整每次 STEM 或 4D-STEM 測量的預設優化光學屬性。

測量功能:

TESCAN TENSOR 為材料科學家、半導體研發和失效分析人員以及晶體學家提供了眾多已預設的STEM、4D- STEM和斷層掃描測量的參數:

STEM BF, ADF 和 HAADF 成像

STEM 晶格像

成分 (能譜分析和元素面掃)

取向 / 物相分布成像

應力分布圖

虛擬 STEM

STEM 和 EDS 重構

衍射重構  

性能:

TESCAN 從零開始開發了全新的 TENSOR，優化了STEM 掃描的同步功能：

混合像素的直接電子衍射相機衍射成像

2個無窗EDS探測器(2個大立體角)進行快速地能譜采集

快速，旋進電子束頻率高達 72kHz

 一體化的靜電束閘

近實時4D-STEM數據分析、處理和可視化軟件(TESCAN Explore)

都集成在模塊化、中高壓、近超高真空 (樣品區域真空達到10-6 Pa) 的肖特基場發射電子槍上

可用性:

TESCAN TENSOR 是一臺可以像掃描電鏡一樣易于使用的掃透電鏡（STEM）。它可以讓使用者把時間花在樣品分析上，而不是浪費于參數調整。新手用戶只需要最少時間的訓練，就能很快獲得結果。有經驗的用戶可以使用選配的 API 開發適合自己的測量功能，并通過 HyperSpy、LiberTEM 或 Py4DSTEM 等開放平臺的解決方案導出 TENSOR 4D- STEM 的數據集進行離線處理。